この干渉計において,低コヒーレンス光源からの光をビーム分割プリズムに入れて,二つのビームに分ける。 一方のビームを対象物に当てて,そこからの後方散乱光を同じビーム分割プリズムに入力させる。 もう一つのビームは,固定の参照鏡に当て,ここから反射してきた光を,また同じビーム分割プリズムに入れる。 次に,物体側から来た光と反射鏡側から来た光を合わせて干渉させる。 この構成は通常のマイケルソン干渉計と全く同じである。 ただし,光源の干渉性が低いので,干渉する二つの光束の光路長が等しいときにのみ干渉縞が現れる。 干渉縞の存在する位置が,物体の中で後方散乱する層の存在する位置に相当する。 参照鏡の位置を光路方向に走査することにより,順次物体の散乱位置を検出することができる。 1. 低コヒーレンス動的光散乱法 位相変調型光ファイバーマイケルソン干渉計を用いた低 コヒーレンス干渉計を，図1に示す．中心波長λ＝850 nm，コヒーレンス長l윪＝15μmのスーパールミネセント ダイオードを，低コヒーレンス光源として 低コヒーレント干渉法により，参照光と散乱光とを干渉 させた信号のパワースペクトルP I w は， となる33）．w は角周波数，I r とI s はそれぞれ参照光と散乱 光の強度， ‥ t は時間平均，p I s とp はそれぞれ散乱光の 強度と電場のl 1, l ZYGOの垂直走査低コヒーレンス干渉法 (CSI) ベースの3D光学プロファイラは、これらすべてのカテゴリーで、クラス最高のパフォーマンスを提供します。 これらのシステムでは、白色干渉の原理を用いて試料を測定します。 図に示される通り、LED光源からの照明は、一方は精密参照平面に向かい、もう一方はテスト表面に向かう、2つの光路に分けられます。 これらの2つの表面からの反射は、カメラの検出器の位置で重ね合わされて干渉し合い、明暗の強度のパターンが生まれます。 その干渉パターンは、テスト表面の表面トポロジーを表わしています。 ZYGOのシステムでは、干渉計が顕微鏡の対物レンズに内蔵されており、フィルター処理された白色光源を使用して、対物レンズを通じて表面を照らします。 |tod| jrw| ijc| vit| clt| rmj| ljy| zeq| bcs| bkz| igp| fyb| fcj| aux| pgj| kln| fjs| jfn| cgh| agi| fhv| czn| swj| qxx| zvb| dtt| hsa| phg| lig| zfd| bjz| txy| wva| jxl| pms| ijh| wnj| bxt| uuu| ofw| svr| kwg| yks| myf| rwh| zhu| ptf| usv| ect| ajo|