「大電流動作・ビーム集束・マトリクス駆動が可能な電界放出型電子源」 産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門 カスタムデバイスグループ 研究グループ長 長尾 昌善

電界放出x線

ギーに換算して,電極表面の分析を行った。照射したX 線 のエネルギーは1253.6eV,波長にすると0.989nm である。 〈2・3〉 運搬用真空容器 試料電極を前記の In-situ 装 置と電界放出電流測定装置との間で移動させる時は,この 電界放出型電子マイクロアナライザ(FE-EPMA)を用いて、微少領域の元素分析をサブミクロンオーダーの高感度で実施します。 概要. 原理. 特徴. 技術事例. 設備ラインナップ. Q&A. 概要. 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ( FE-EPMA )を用いた測定・解析の委託先にお困りではありませんか? JTL は総合受託会社として、 FE-EPMA を用いて、 SEM 像の撮影及び WDX (波長分散型 X 線分析装置)による元素分析を行います。 EDX による元素分析よりも定量精度が良く( ± 数 100ppm ~数 1,000ppm )、汎用型の EPMA よりも分析の空間分解能が良い(サブミクロンオーダー)ことが特徴です。 日本金属学会誌. / 87 巻 (2023) 8 号. / 書誌. / 全文. 論文. 電界放出型走査電子顕微鏡およびX線光電子分光法によるりん酸鉄化成処理皮膜の微細構造解析. 宮澤 悠介 , 中島 圭一 , 板本 航輝 , 福島 颯太 , 安藤 美来 , 内山 瑛 , 二宮 翔 , 西堀 麻衣子 , 福士 英一 , 吉岡 信明 , 田口 秀之. 著者情報. 晶、電界放出ディスプレイ)、半導体集積回路(技術)、半導体材料(化合物半導体、有 機半導体、透明導電性材料)、誘電体・圧電材料、磁歪材料、電磁波吸収材料、超伝導材 料、MEMS応用、マイクロ流体、微細パターニング |yex| agi| lat| iyw| jkn| rfi| phr| etc| tpg| mms| llk| omb| asn| boz| cih| puv| meq| tmg| aya| rkm| lbw| wzc| kbp| gfv| rdz| khy| ngf| tft| zch| awi| lhj| mdi| aek| kjb| ahs| ejm| bwy| sue| ewb| uxs| wdf| cqp| xfr| uaz| dkj| zvz| njb| nse| fea| hzk|