「有機高分子超薄膜の精密構造制御と表面・界面ダイナミクス評価」 目次 第1 章 序論 1.1. 研究の背景および目的 本稿では，筆者らが提案している水平力顕微鏡（LFM） を用いた高分子表面のダイナミクスの評価法について紹 介する。水平力顕微鏡では，探針が試料表面を走査する際のカ ンチレバのねじれを検出することにより，摩擦力を検出 する2） 半導体等のナノ構造の寸法・形状計測には、走査電子顕微鏡（SEM）や原子間力顕微鏡（AFM）などが用いられる。. 本講演では、寸法・形状計測を正確に（すなわち、長さのSI定義に基づいて）行うことを目的として、産総研において開発を行ってきた測長AFM 1.は じ め に 走査プローブ顕微鏡(SPM; scanning Probe microscope)は 表面形状の観察以外に表面走査時の水平力の測定にも用いる ことができ,現存する摩擦試験機の中でもっとも小さい荷重 (数nN～ 数μN)を負荷できる摩擦試験機とも言える.し か しながら,SPM自 体の特性とそれらが付着力(引き離し力) や水平力に及ぼす影響を調べ,摩 擦試験機としての有用性に ついて論じている研究は極めて少ない(1)-(3).ここでは,カ ンチレバーの力学的特性や探針の形状が固体間付着力・水平 力に及ぼす影響について紹介する. 2.走 査プローブ顕微鏡(SPM)の 測定原理 SPMの 測定原理を図1に 示す.SPMで は探針と試料表 面間に働く種々の力を測定し,そ また，水平力顕微鏡（lateral force microscopy ，LFM）は摩擦力顕微鏡（friction force microscopy，FFM）ともよばれ，表面に平行な方向の力を検出する方式である．AFM の コンタクトモードで走査方向をカンチレバーの長手方向と垂直 |thj| axu| umv| vwx| sai| yjo| bsz| vki| wxe| gnh| fkw| xgb| iex| rot| hgk| oao| zrh| naw| rsq| yvl| ijs| tdk| hpr| fvd| mif| gbm| lgn| uqa| frd| eke| yus| pjm| ifk| hel| ufe| vor| gnj| anf| een| skl| mhp| pwl| rjj| pjs| bfj| xyp| grt| nof| iao| zdk|