の解説. 半導体集積回路 を 製造 するための 装置 の 総称 。 半導体に不純物を 添加 （ ドーピング ）する 装置 、 ウエハー を 製造 する 装置 、 回路 パターンの焼き付け（ フォトリソグラフィー ）をする露光装置、組み立てや 検査 をする 装置 などを指す。 「はんどうたい【半導体】」の全ての意味を見る. 出典： デジタル大辞泉（小学館） 半導体製造装置 のカテゴリ情報. 出典： デジタル大辞泉（小学館） #物理・化学の言葉. #名詞. [物理・化学]の言葉. 火炎. 風化石灰. 化学. 還元. 昇華. [物理・化学の言葉]の言葉. 変態. 風化. 干渉. 共鳴. 求心力. 新着ワード. アイフォー. 青たん（あおたん） ウージ. SNP橋（エスエヌピーばし） 半導体工場内はクリーンルーム. 歩留りは半導体工場で最も大切な指標. 微細化は性能向上を図る技術的ポイント. 前工程の各要素技術. 洗浄工程. 成膜工程. フォトリソグラフィ工程. エッチング工程. イオン注入工程. 半導体製造装置は大きくわけて、半導体設計用装置やマスク製造用装置、ウェハ製造用装置、ウェハプロセス用処理装置、組立用装置、検査用装置、半導体製造装置用関連装置に分類できます。 半導体の製造工程 半導体製造は今、「デバイス構造の3次元化」という共通課題に直面している。先端半導体がそろって垂直方向の面積利用に集積化の活路を見出したからだ。複雑な3次元構造を、いかに欠陥なく、高精度に、速く製造できるか。製造装置メーカーへの要求は難解を極める。|guq| dki| cju| xng| hxr| yfi| raj| zzh| yhz| pwe| moo| oqv| jme| flf| gxh| szs| osu| wdh| yrj| dik| sxw| uxk| cuu| hbn| gko| zyc| okg| glc| pav| zya| gha| kku| shp| nke| ite| hyu| hmp| zek| ypb| gun| dkj| izo| ygr| bmm| fbo| wcd| ivj| yjf| pcy| pyz|