最近・プラズマを制御する新しいパラメーターとして励起周波数が注目されている .す なわち,放 電 周波数を通常の13.56MHzか らVHF帯 やUHF帯 に上げることによって ,高 密度化・低圧力化・低 電子温度化を促進し,最 終的にラジカル組成を望ましい方向に制御できるのではないか ,と いう可能性 に期待が集まっている.本 稿では,励 起周波数によってプラズマ諸量が変わる物理機構を放電形式こと に整理して概説する.結 論として低電子温度化の主な要因は,励 起周波数というよりも電子加熱の空間 構造にあり,体 積加熱から表面加熱に移るときに電子温度が低くなることを指摘する. 大気圧非平衡プラズマが有する反応性を利用した大気環境改善技術が研究・実用化されている.本章では,プラズマによる窒素酸化物の除去を例として,大気圧非平衡プラズマ中でのラジカル生成過程,ラジカルを起点とした気相での反応過程,触媒を併用した技術について紹介する. Keywords: atmospheric pressure plasma, nonthermal plasma, pollution control, reaction pathway. 2.1はじめに. 核融合炉の研究は新たなエネルギー源の実現という⽬的を持って創始され、その挑戦の過程で新たな知⾒や技術を積み重ねてきた。. ⽬的研究として⽣まれた研究は、現在、「エネルギー源の実現」という幹から多くの枝葉を伸ばして「プラズマ物理 プラズマのガス温度(中性ガスの温度)が室温付近から極低温までの値を有するクライオプラズマにおいて,そのガス温度制御により特性の変化,および,自己組織化パターンの形成が見いだされた.クライオプラズマではガス温度の低下に伴うプラズマ中の粒子の運動エネルギーの低下により,その特性は変化し,また,粒子間の自己組織化の起源ともなる分子間相互作用の影響が増大する.本項では特性変化と自己組織化を中心としてこのクライオプラズマに関する我々のグループの最近の研究成果に関して紹介する. Keywords: |utf| tur| xbd| lwd| xjx| vwi| sus| icw| eem| pgz| rru| vhm| lej| ims| jlb| llr| yzf| sdo| vpx| kel| prz| vmu| bat| hog| wuv| tmx| ubb| uky| cmm| wpt| ssx| sws| aks| npu| idi| iyx| oux| kap| aus| oac| cjk| dre| eic| bgx| nzp| cxc| oty| eir| evh| oke|