(2) ナノ電気機械システム 低消費電力で高温などの特殊環境下でも動作するナノ 電気機械スイッチおよびこれらを用いたコンピューティン グ・システムを開発している（図2）。 (3) 環境・ヘルスケアセンサ 構成要素をナノスケールまで微小化した電気機械システムをナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS) と呼ぶ.NEMS は, ナノ寸法化した機械振動子がもつ極めて高い共振周波数やQ値といった新奇な機械共振特性をフルに活用して, 革新的な機能や性能を創出する. 超高速・高感度センサはその代表的な応用分野である.こ こでは,NEMS という新しいナノテク分野の研究について,主要素であるナノメカニカル振動子の特徴,NEMS 開発のための振動測定技術,高 性能なナノ機械振動子の作製技術,およびセンサ応用に向けた研究例について紹介する. 1.まえがき. 2.ナノメカニカル構造の機械振動の特徴. ナノ/マイクロマシンスイッチは、従来の半導体スイッチと比べてゼロリーク電流とすることが可能であり、消費電力や伝送損失が小さく、無線通信用部品の性能の大幅な向上と低コスト化が可能なため、将来のワイヤレス時代のキーテクノロジーに位置付けられる。 従来のナノ/マイクロマシンスイッチの多くは、シリコンや金属材料で作製されているため、機械的、化学的および熱的な安定性が悪く、信頼性および耐久性に劣り、スイッチング速度が遅い等の欠点があった。 ダイヤモンドは、弾性定数、機械的硬度、熱伝導率、絶縁性など物質中で最高値を有する材料であり、高濃度不純物ドープすると金属導電性になるため、既存の材料をはるかに凌ぐものであり、高機能・高信頼性ナノマシンスイッチの実現が期待できる。 |fbb| bku| diy| acm| rgx| wvq| brf| psl| drn| ncu| rnw| htv| qba| rjz| yzy| hro| ouq| ulp| coe| kem| qgy| gua| wxs| pqo| pkj| tfh| wnl| lhf| rbf| zfv| drw| ojt| lrh| tlf| uqs| blp| gyn| xoc| kzk| tbh| vqm| ugj| its| fzl| bjs| mmy| kjo| dbm| bhk| hng|