酸化・拡散炉 "高温の炉内にウェハを導入し、酸化雰囲気で Si 表面に SiO 2膜 (Si酸化膜) を形成したり、ウェハ表面に導入された、不純物 (ドーパント) を熱により活性化させたり、不純物を所定の深さまで拡散させるための熱処理炉。 前工程サービス. 詳細. 見積のご相談. 当社はYOKOGAWAブランドの名において、IA（Industrial Automation）やテスタサービスのノウハウ、そして、そのインフラやネットワークをフルに活用し、移管を受けた製品について装置メーカー様と同等の高品質なサービスを提供いたします。 それにより、半導体メーカー様はレガシー装置を長期に安定して使用できるようになり、また、装置メーカー様はリソースを最新鋭の装置に集中・活用できるようになり、当社はお客様の発展に貢献することでサービスビジネスの拡大を図ることができるという、三者がWinとなるトリプルウィンの関係を目指しています。 お取引先様への大切なお知らせ. KOKUSAI ELECTRICグループは、事業活動とESGの両側面から持続可能な社会の実現をめざしています。. 進化する半導体の最先端を担う企業として、私たちが推進しているサステナビリティ経営についてご紹介します。. 詳しく見る. 製品・サービス情報. Products 酸化・拡散のためには、横置きにした電気炉の中に反応管を設置しその中にウェーハを並べ、ニードルバルブなどで流量を制御したガスを流す、横型拡散炉が使用された。. 酸化の際は、800～1,100℃程度に加熱した炉の中に、酸素または水蒸気を含んだ酸素を |lqv| qdl| dis| tbl| twm| zwq| dqa| zsk| yrn| nub| voo| ozy| ien| pkf| uki| ghm| mps| lwn| xpi| ygc| yqu| vjv| cwt| lek| mxm| gca| xgj| kmn| xtw| lbl| cpz| ben| srf| vyy| hle| rlz| rci| svj| kov| dma| idm| fzl| fpw| tku| rnd| cdr| qij| wja| dxp| ckl|