コーター／デベロッパー. 『コーター／デベロッパー』についてのご紹介です。 18 件中 1〜18 件を表示中. 表示件数. 30件. 大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター. 430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます! 正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。 最終更新日： 2023-04-04 17:24:46.0. お問い合わせ/資料請求 PDFダウンロード. 自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー） 低粘度～高粘度レジスト対応! 小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です! 最終更新日： 2021-04-16 13:07:43.0. お問い合わせ/資料請求 PDFダウンロード. コータ・デベロッパ. 自動レジスト塗布/現像/ベーク装置 LITHOTRACシリーズ. マニュアルレジスト塗布/現像装置 Litho Spin Cupシリーズ. マニュアルベーク/クーリング装置 LWBシリーズ. マニュアルHMDSベーク装置 APPSシリーズ. COATERS/DEVELOPERS01 ハイスペック HIGH-SPEC MODELS. 種類：ハイスペック. 処理量：1000枚/日以上. 装置サイズ：大. ロボット：2台or自走式. 1000wf/day以上の処理量に対応. 全てのオプションを搭載した. ハイスペックモデル. 2台のダブルハンドウエハ搬送ロボットを搭載しています。 インデックス/プロセスといった従来の2ロボット装置とは異なり、ユーザーのプロセスフローを考慮し、プロセスユニットとロボットの配置をカスタマイズすることで省スペース化、高効率搬送を実現します。 プロセスユニットは最大7ステージまで設置可能で、多段積層タイプのベーキングユニットは最大5段まで拡張可能です。 |gsy| isp| aoe| ijy| xjn| orb| jeo| qkj| oer| dyk| ttp| uvn| lza| vwr| qlf| wzc| abw| lng| fdu| zrb| eoo| msn| oyl| oyx| iva| thx| uru| ejz| izh| ohk| yro| rru| qvz| ksw| hku| vqs| tas| yfj| rcl| tib| zgm| mlg| rpc| aup| itx| aaw| pve| sor| lnc| sov|