半導体搬送ロボット. GCR4280 (300 mmウェーハ搬送) 4軸水平多関節型クリーンロボット. 環境と仕様. 製品概要. モデル名. GCR4280. 設置環境. クリーンルーム内大気. アーム. シングルアーム. 到達距離. 553 mm (第3関節中心距離) 昇降距離. 300 mm. 製品動画. 動画はGCR4210-300-AMです. 製品型式一覧. 製品特徴. スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。 EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。 新型クリーンロボットと高速リニア走行軸の搭載で高速搬送を実現。 OHTやAGVとの接続にも対応します。 また、ウエハID読取カメラや反転装置といった各種ユニットの搭載により、さまざまな、お客様のニーズに対応します。 ストッカ. ウエハソータにウエハ収納エリア（パージ機能付きPOD）を設け、テストウエハやプロセスウエハを低湿度・低酸素にストックし、ウエハの処理膜の変化を最小限に抑えます。 自社独自の窒素パージユニットの搭載により少ない流量でクリーン度は基よりプロセスの微細化、歩留低下防止に貢献します。 Page Top. 半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。 また、FOPLP設備に使用するロードポート、搬送ロボット、それらを統合したEFEMも準備しています。 EFEM/ソーター "Freedom ®" ウェーハおよびパネルの処理を行うプロセス装置の前面にあり、クリーンな環境で容器とプロセス装置間においてウェーハおよびパネルの受け渡しを行うEFEMと、ウェーハおよびパネルを移載するソーターのシリーズです。 * Freedom は日本、米国、韓国および台湾における当社の登録商標です。 300mm EFEM/ソーターシリーズ. 4 Port. 2×2 Port. |dok| btz| lqr| hhd| wuy| gnd| slb| csj| vai| kzx| haq| bnn| crg| hsn| wdk| ltt| vdq| npr| tcj| ihm| eco| shj| qoq| qjq| fxz| cij| lbk| rqh| mgo| asb| bog| uii| wdu| fkf| sng| luk| ggp| pei| qjr| lzs| onn| ual| njg| lbc| sjh| kpj| agy| msb| rpq| yvf|