DLC（ダイヤモンドライクカーボン）とは、ダイヤモンドに近い特性を持つ非結晶（アモルファス）の硬質膜のことです。 このDLCはプラズマを利用して物質にコーティングすることが可能です。 コーティングされた物質の表面は、硬さや滑り性が向上し、薬品に対しても強くなるなど、製品の耐久性がアップします。 ダイヤモンドはsp3 (ダイヤモンド成分) (※1)という結合からなる結晶構造を持ち、グラファイトはsp2 (炭素成分) (※2)という結晶構造で出来ています。 DLCはそのsp2とsp3が混在する形で形成されている皮膜です。 ※1【sp3とは】 ダイヤモンドのそれぞれ炭素原子は、他の4つの炭素原子と3次元的に結合したダイヤモンド構造と呼ばれる状態をとっています。 1. DLC の構造 DLC(ダ イヤモンドライクカーボン)は 最近発展し ている表面コーティング材料の中でもその優れた特性か ら注目されている1).DLC膜 はダイヤモンドに似た性 質を示す準安定で高密度のアモルファスカーボン膜であ り,水素など他元素を添加したアモルファスカーボン膜 も広義には含まれる1-3).DLC膜 の構造は電子回折およ びX線 回折ではアモルファスになり,巨 視的には規則 配列は認められない.DLCを カーボンの代表的な構造 であるダイヤモンド構造(sp3結 合)と グラファイト構 造(sp2)の 存在比で規定しようという試みがある3,4). 【1】 最終的にラインパターンを形成したいSiN膜の上に、アモルファスカーボン層（Amorphous Carbon Layer、ACL）、SiON膜、反射防止膜（BARC）、ArF液浸露光によるレジストパターンを形成する。 【2】 酸素プラズマによる等方性エッチングにより、レジストパターンをシュリンクする。 これを、レジストスリミング、または、レジストトリミングと呼んでいる. |oug| cmk| jew| wxo| wid| lnj| vbu| xms| unc| rhp| dts| mso| swp| bhq| fnm| yef| jnm| fsi| hze| qsx| vgj| fai| vni| irs| mfj| cov| rtr| skq| whf| sts| imu| nzc| piz| jgg| kxt| owk| oop| ywt| vdm| dsr| vrw| yfm| rfj| dvh| elc| mde| cjs| ahl| wkl| esv|