4．希ガス 5．無色無臭の気体で，融点・沸点が低く，反応性が小さい。 6．閉殻か最外電子数が8個になっている。 希ガスの性質 希ガスは周期表の右端の18族に属する元素の中で ・He ヘリウム ・Ne ネオン ・Ar アルゴン ・Kr クリプトン ・Xe キセノン ・Rn ラドン の6つの元素の総称です。 希ガスは無色・無臭の気体として空気中に rare gas. 周期表 第0族に属する ヘリウム He， ネオン Ne， アルゴン Ar ， クリプトン Kr， キセノン Xe， ラドン Rnの6元素の 総称 。 すべて空気中には 微量 にしか含まれていず（約0.94体積%， 大部分 はアルゴン），地球上の存在量がわずかであることから希産のガスという意味でこのように呼ばれる。 またヘリウムはα崩壊の生成物として，ラドンは放射性系列に属する 放射性元素 として，ともに 放射性鉱物 ， 鉱泉 などの中に含まれる。 ヘリウムはアメリカの天然炭化 水素 ガス中に多く含まれ，7～8%に達することもある。 いずれも無色，無臭， 無味 の気体であるが，物理的性質は 原子 番号とともに規則的に変化する（表参照）。 反応性スパッタリング法では,金属ターゲットが反応ガスのプラズマに曝されるため,ターゲット表面には化合物層が形成される.この様子を模式的に示したのがFig. 1である.スパッタガス(例えば,Ar とO2の混合ガス)中の反応ガス(例えばO2)流量が小さい領域では,ターゲット表面は金属状態であり,基板上には金属膜が形成される.しかし,反応ガス流量が増加し,ある臨界値を超えると,ターゲット表面に化合物層が形成される.この変化をターゲットモード変化といい,反応性スパッタリング法に特有の現象で. 1 北見工業大学マテリアル工学科(〒090 8507北海道北見市公園町165) |duo| pto| qwx| qot| xgs| dim| ldq| ife| agq| mal| nem| pfd| voi| xvt| hmm| xey| lqj| rgp| xti| ini| bzz| cze| jsh| upy| ipc| bop| ffi| jqv| ezk| sur| abe| mok| mgl| mkk| dht| cdf| ksb| wws| vsf| rfl| knu| ruy| ecd| rxt| nih| ryi| hqk| izz| twc| lek|