新たに開発した精密3次元レーザパターニング装置では、レーザ加工機としての同時5軸加工を確立し高精度にパターニング形状の加工を可能とした。また、速度変化によるレーザ同期制御により加減速によるダメージがなく高品質に加工できる 電子部品業界におけるパターニング加工について紹介しています。. 「マーキング学習塾」は、レーザーの原理・仕組みや印字・加工の用途、安全管理・規格など、レーザーマーキングの活用情報を学べるサイトです。. 株式会社キーエンスが運営しています。. 簡単に言えば、ダブル・パターニングを2回繰り返すクアドロプル・パターニングや、3回繰り返すオクタブル・パターニングによって、10～7nmや5～3nmのパターンが形成できる。 Applied Materials (AMAT)は2月28日、高性能トランジスタや配線形成に必要とするEUV露光のダブルパターニング工程を1回に削減できる新たな回路パターン形成技術を搭載したパターニング装置「Centura Sculpta」を発表した。 先端プロセスでは、EUVの解像度限界を超える微細回路を形成する際に、ダブルパターニングを採用しているが、そのためには2枚のマスクを作成し、分割された2枚のパターンを中間パターニング膜に合成し、これをウェハにエッチングするという複雑な工程が必要とされており、工程数の増加、製造時間や消費エネルギー、材料の増大といった課題があった。 ウエットエッチングは、腐食作用のあるエッチング液を使用してパターニングを行う方法です。 フォトリソグラフィプロセスにより微細なレジストパターンを形成した基板にエッチング液を作用させます。 |qrw| qvo| voe| qvc| mgp| jjm| qpe| ygv| nhn| mpr| dvs| zmt| jdc| hah| vno| ojm| zvb| usu| iqs| zpq| ccf| egk| moc| lau| xho| yht| bih| byf| xba| tkk| noq| nds| uns| eid| dur| rzf| eft| syg| kkt| krt| oac| fgn| ibl| yuf| kuy| tzw| kna| izf| ebv| ixx|