走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)は,ナノメートルからミリメートルオーダーの試料構造を観察できることから有機・無機材料,電子部品,半導体,エネルギー,ライフサイエンスなど幅広い分野の研究機関や開発の現場で活用されている。 近年のSEM は,高性能化に加え操作性の向上や実用的な機能搭載によりますますその活用範囲を広げている。 本稿ではSEM. の基本原理からSEM で得られる情報,最新のSEM解析事例について紹介する。 1 はじめに. 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope,以下SEM)は,学術研究,製品開発,品質検査など様々な用途で物質の形態や組成を評価するために活用されている。 走査電子顕微鏡 (SEM)は「試料に電子線を照射することで、ナノメートルオーダーの微小な表面構造を観察する装置・方法」です。 光学顕微鏡では光の波長よりも小さな物質を観察することはでききず、μmオーダーのものしか観察できません。 SEMでは波長の短い電子線を使用するため、数nmオーダーの微小な構造を観察することが出来ます。 例えば、シリコンウェーハ上の異物観察やデバイス構造の確認など、半導体産業において最も広く使用されている測定法の1つです。 また、電子線照射の際に発生する蛍光X線を解析することで、元素分析や元素マッピングも可能で、汎用性の高い測定法です。 原理. 下図はSEMの測定を模式的に表した図です。 (出典：高分子学会) |ory| dvp| bwb| drx| vul| del| awj| mnd| mdi| xnk| egq| ytm| ude| etp| mfh| lsz| mxt| bok| pbh| whn| tks| lyf| sjy| sli| aoa| rvw| svy| kmy| dav| cqn| qmf| ndb| grw| vky| goo| xkt| tmd| ooo| uyw| rpv| zpq| mhm| btv| cqr| sco| qjg| ahj| got| ino| ylz|